第二百七十五章 检验
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中科院微电子中心出产的0.8微米工艺光刻机，其光源和光电成像照准系统都是光电所的杰作。作为光电所的一把手，赵院长对光刻机也算是大半个行家了。
只一眼，他就认出了这套光刻机的出身。1995年上半年微电子中心，才完成了0.8微米工艺光刻机的研发。产量在那里明摆着，一共也没有生产出多少来。没办法，中科院当幕后老板，国内最有可能向这方面发展的梦幻集团，都放弃了走技术路线。除非国家上马集成电路的大工程，否则根本没有哪个单位吃饱了撑的，会去采购国产光刻机。
国产光刻机的市场占有率，不光是九十年代，哪怕到了二十一世纪也是个悲剧。魔都微电子号称2009年就实现了90nm光刻机的国产，但是后来国内晶圆厂宁愿买国外进口的二手线，也不要他的国产货。
在光刻机上面，为何神奇的兔子能造就白菜定律，却偏偏不起作用了？这一点也不奇怪，因为一是核心设备没掌握，尼康卡你的脖子。二是光刻机的良品率上不去，产品便宜的再多架不住生产成本高。
当然，魔都微电子不管怎么说，总还是做了一些成绩的。周硕虽然心里惋惜，但也明白国产光刻机不行，不是它一家的问题。
总之这年头中科院微电子中心能卖出去的光刻机可谓是凤毛麟角，而其中的光电设备只一眼赵院长就看出来确实是出自自家之手。
不管研究成果如何，这起码说明周硕确实在实打实投入的研究技术。赵院长看向自家产品的眼神，自然也就温柔了许多。
“这套设备说起来，还是我在光电所的时候亲手制作的。”麻友公站在赵院长的身边，感慨的说道：“院子，不论泛翰研究院的水平如何，起码他们确实是在踏踏实实的做技术。就这一点上来说，也不应该对他们太过苛求了。”
“哼。你现在是人家的工人了，当然替东家说话。”赵院长有些傲娇的哼哼着，眼睛却在光刻机上怎么也挪不开。
他收敛了一下脾气，好奇的问道：“这就是你们改进的0.5微米工艺光刻机？究竟做了哪些改进？”
“我们改进了……”麻友公开了个头。突然停顿了一下，无奈的摇头道：“我和研究所签了保密协议的，具体技术不能说。”
“德行。”赵院长撇了麻友公一眼，看的他浑身不自在。没办法，他这一身本身可以说，多半都是来自赵院长的传授。如今老师问他这点问题，自己却表现的好像什么重大机密似的，难免有些心虚。
赵院长却没有多做计较，只是在光刻机前前后后的打着转，就不信自己的眼力还看不出来有什么不同。
其实虽然麻友公这多少算是叛出师门。但赵院长心底里却并不怎么怨他的。一是光电所这些年来，确实有些对不起麻友公。二一个，心里多少也希望自己的徒弟能有一个好的归宿吧。
从这方面来说，他其实也理解麻友公保密的做法。假使改进技术真的有效，这里面涉及到的可是数以亿计的金钱。泛翰研究院是私人公司。当然不可能让人敞开了看。
就在这时，光刻机前的指示灯突然从红色转换成了绿色，并且发出了一道短促的“哔——”声。
一张直径的晶圆盘片，从光刻机里被机械臂稳稳的送了出来。
“这是！”赵院长哪里会不知道这是怎么回事，光刻机里吐出来的晶圆表面上看并没有什么不同，但他知道这已经是经过了光刻的盘片。
此时这张盘片上面的光刻胶，应该已经被蒸发了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机。就可以根据光刻的路径蚀刻出集成电路。
在场的所有人，除了保安部的安保人员以外，几乎个个都和光刻机系统扯得上关系。自然也就都明白，泛翰研究院是否已经掌握了0.5微米工艺，答案就在这一刻了。
“诸位，我们泛翰研究院究竟有没有掌握0.5微米工艺技术。大家此时此刻可以拭目以待了！这张单晶硅晶圆是我们改造之后的第一次光刻，我请你们记住1995年10月7日这个光荣的日子……”
周硕几乎是虔诚的，把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面，并且毫不迟疑的启动了蚀刻程序。
只是此时此刻，似乎所有人都已经忘记了他们的初衷。只是全神贯注的看着那薄薄的单晶硅晶圆。心中却已经有些相信泛翰研究院已经实现了0.5微米工艺。
问题很简单，若非是有十足把握，周硕又怎么有这个勇气，在众人面前完成蚀刻程序？甚至有的人心里已经打起了小算盘，按照国内的传统，说不定是已经有了成功经验之后，才玩的这个出炉把戏吧。
不管如何，周硕胸有成竹的模样，都让他们的态度在不自觉间发生了变化。
和光刻程序比起来，蚀刻的速度就快多了。几分钟之后，酸液已经把没有光刻胶覆盖的地方，腐蚀出了只有零点零几微米的微痕。微小到不论是人的肉眼、或者是普通的放大镜都无法发觉的地步。
当然，以蜂巢实验室里面的设备，有大把大把的方法可以对其进行观察和测量。
至少在1995年的集成电路制造水平，0.5微米的线宽，一部光学显微镜就已经足够、足够。
赵院长看了自己得意弟子麻友公一眼，微微叹了口气。他站出来，自报奋勇道：“周先生，我来对这张晶圆进行测量，没有问题吧？”
周硕呵呵笑着，将晶圆郑重的交到赵院长手里，点头说道：“能够有赵院长亲手测量，这是泛翰研究院的荣幸。我想在场的诸位，没有第二个人比赵院长更有公信力了。”
赵院长小心的将晶圆接了过来，摇头道：“谁知道你是不是事先放了从其他地方得到的晶圆进去？要按照我的说法，你至少应该在我们所有人的面前，再放一张晶圆进去。”
他顿了一顿，嗤之以鼻道：“前些年社会上还流行过水变油的闹剧，搞起这种夸张的科学技术来，向来是魔术师比科学家有本事。”
周硕似笑非笑的看着赵院长，摇头说道：“这张晶圆是不是我们泛翰研究院生产的，赵院长一看便知。”
赵院长不置可否，他呛上这两句语气说是质疑，不如说是在表明立场。毕竟这个技术是有麻友公参与的，对自己亲手培养出来的弟子他还是有信心的。麻友公的学术道德如何，他心里清楚。即使生活再怎么艰难，但学术造假肯定不会落到他的头上。
赵院长四下找了一圈，很容易就发现了一台光学显微镜。这是一台高倍的显微镜，最大观测分辨率可以达到0.1微米水平。用来观测0.5微米线宽的集成电路，可以说是轻而易举。
他熟练的操作着实验仪器，很快就做好了准备工作。赵院长向显微镜里看过去，却不想竟然惊讶的喊了出来！
“啊！”赵院长竟然从实验台前倒退了半步，那样子就如同见到了鬼一般。
赵院长很快就意识到了自己的失态，却来得及没有对众人做出丝毫说明，便又急匆匆的一头扑向了显微镜。
足足过了十多分钟，他才从显微镜前抬起头来，喃喃自语道：“竟然是真的，竟然是真的……”
“赵老，什么真的、假的？你看到了什么？”赵院长身边，一个焦急的领导抓着他的衣服就问道。
“确实是0.5微米线宽！”赵院长有些苦涩，却又有些自豪的说道。
是的，他虽然输了打赌，但仍然足以自豪。因为这是中国人创造的奇迹，是他的得意弟子参与创造的奇迹。作为一个把一生已经奉献给共和国科学事业的老科学家，他虽输犹荣。
“那也不能说明什么吧，说不定是他们搞了鬼呢。赵老，一个月时间把光刻机技术提高一代，这种放卫星的说法你也信？肯定是有什么障眼法，您可得擦亮眼睛啊！”
“去！自己去看！”赵院长挺直了腰板，指向显微镜说道：“中国人，我们中国人一向是善于创造奇迹的民族啊！”
身边这人带着明显怀疑的神色，站在显微镜前看了一眼，顿时也“啊”的一声，倒退了一大步！
“怎么回事？怎么回事？”
众人心头一阵疑惑，赵院长一个人震惊也就算了，后面这人在有了心理准备的情况下，怎么还表现的这么不堪？
“真的！是真的！”这人看完之后，竟然也有些失魂落魄似的，念念有词。
“咋回事究竟？我也看看！”
“啊！”
“哎，快让我看看！”
“哎呀！真的！”
后面几乎每一个人，在看到显微镜下图案的时候，都不由自主的一付惊讶的表情。
周硕呵呵笑着制止了后面人的鼓噪，通过设备将显微镜观测到的图案，直接显示在了实验室的投影幕布上面。
只见这张晶圆上面蚀刻的图案，竟然就是今天一早赵院长从面包车上跳下来的画面！还有什么，比这个画面更有说服力的吗！RP
中科院微电子中心出产的0.8微米工艺光刻机，其光源和光电成像照准系统都是光电所的杰作。作为光电所的一把手，赵院长对光刻机也算是大半个行家了。
只一眼，他就认出了这套光刻机的出身。1995年上半年微电子中心，才完成了0.8微米工艺光刻机的研发。产量在那里明摆着，一共也没有生产出多少来。没办法，中科院当幕后老板，国内最有可能向这方面发展的梦幻集团，都放弃了走技术路线。除非国家上马集成电路的大工程，否则根本没有哪个单位吃饱了撑的，会去采购国产光刻机。
国产光刻机的市场占有率，不光是九十年代，哪怕到了二十一世纪也是个悲剧。魔都微电子号称2009年就实现了90nm光刻机的国产，但是后来国内晶圆厂宁愿买国外进口的二手线，也不要他的国产货。
在光刻机上面，为何神奇的兔子能造就白菜定律，却偏偏不起作用了？这一点也不奇怪，因为一是核心设备没掌握，尼康卡你的脖子。二是光刻机的良品率上不去，产品便宜的再多架不住生产成本高。
当然，魔都微电子不管怎么说，总还是做了一些成绩的。周硕虽然心里惋惜，但也明白国产光刻机不行，不是它一家的问题。
总之这年头中科院微电子中心能卖出去的光刻机可谓是凤毛麟角，而其中的光电设备只一眼赵院长就看出来确实是出自自家之手。
不管研究成果如何，这起码说明周硕确实在实打实投入的研究技术。赵院长看向自家产品的眼神，自然也就温柔了许多。
“这套设备说起来，还是我在光电所的时候亲手制作的。”麻友公站在赵院长的身边，感慨的说道：“院子，不论泛翰研究院的水平如何，起码他们确实是在踏踏实实的做技术。就这一点上来说，也不应该对他们太过苛求了。”
“哼。你现在是人家的工人了，当然替东家说话。”赵院长有些傲娇的哼哼着，眼睛却在光刻机上怎么也挪不开。
他收敛了一下脾气，好奇的问道：“这就是你们改进的0.5微米工艺光刻机？究竟做了哪些改进？”
“我们改进了……”麻友公开了个头。突然停顿了一下，无奈的摇头道：“我和研究所签了保密协议的，具体技术不能说。”
“德行。”赵院长撇了麻友公一眼，看的他浑身不自在。没办法，他这一身本身可以说，多半都是来自赵院长的传授。如今老师问他这点问题，自己却表现的好像什么重大机密似的，难免有些心虚。
赵院长却没有多做计较，只是在光刻机前前后后的打着转，就不信自己的眼力还看不出来有什么不同。
其实虽然麻友公这多少算是叛出师门。但赵院长心底里却并不怎么怨他的。一是光电所这些年来，确实有些对不起麻友公。二一个，心里多少也希望自己的徒弟能有一个好的归宿吧。
从这方面来说，他其实也理解麻友公保密的做法。假使改进技术真的有效，这里面涉及到的可是数以亿计的金钱。泛翰研究院是私人公司。当然不可能让人敞开了看。
就在这时，光刻机前的指示灯突然从红色转换成了绿色，并且发出了一道短促的“哔——”声。
一张直径的晶圆盘片，从光刻机里被机械臂稳稳的送了出来。
“这是！”赵院长哪里会不知道这是怎么回事，光刻机里吐出来的晶圆表面上看并没有什么不同，但他知道这已经是经过了光刻的盘片。
此时这张盘片上面的光刻胶，应该已经被蒸发了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机。就可以根据光刻的路径蚀刻出集成电路。
在场的所有人，除了保安部的安保人员以外，几乎个个都和光刻机系统扯得上关系。自然也就都明白，泛翰研究院是否已经掌握了0.5微米工艺，答案就在这一刻了。
“诸位，我们泛翰研究院究竟有没有掌握0.5微米工艺技术。大家此时此刻可以拭目以待了！这张单晶硅晶圆是我们改造之后的第一次光刻，我请你们记住1995年10月7日这个光荣的日子……”
周硕几乎是虔诚的，把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面，并且毫不迟疑的启动了蚀刻程序。
只是此时此刻，似乎所有人都已经忘记了他们的初衷。只是全神贯注的看着那薄薄的单晶硅晶圆。心中却已经有些相信泛翰研究院已经实现了0.5微米工艺。
问题很简单，若非是有十足把握，周硕又怎么有这个勇气，在众人面前完成蚀刻程序？甚至有的人心里已经打起了小算盘，按照国内的传统，说不定是已经有了成功经验之后，才玩的这个出炉把戏吧。
不管如何，周硕胸有成竹的模样，都让他们的态度在不自觉间发生了变化。
和光刻程序比起来，蚀刻的速度就快多了。几分钟之后，酸液已经把没有光刻胶覆盖的地方，腐蚀出了只有零点零几微米的微痕。微小到不论是人的肉眼、或者是普通的放大镜都无法发觉的地步。
当然，以蜂巢实验室里面的设备，有大把大把的方法可以对其进行观察和测量。
至少在1995年的集成电路制造水平，0.5微米的线宽，一部光学显微镜就已经足够、足够。
赵院长看了自己得意弟子麻友公一眼，微微叹了口气。他站出来，自报奋勇道：“周先生，我来对这张晶圆进行测量，没有问题吧？”
周硕呵呵笑着，将晶圆郑重的交到赵院长手里，点头说道：“能够有赵院长亲手测量，这是泛翰研究院的荣幸。我想在场的诸位，没有第二个人比赵院长更有公信力了。”
赵院长小心的将晶圆接了过来，摇头道：“谁知道你是不是事先放了从其他地方得到的晶圆进去？要按照我的说法，你至少应该在我们所有人的面前，再放一张晶圆进去。”
他顿了一顿，嗤之以鼻道：“前些年社会上还流行过水变油的闹剧，搞起这种夸张的科学技术来，向来是魔术师比科学家有本事。”
周硕似笑非笑的看着赵院长，摇头说道：“这张晶圆是不是我们泛翰研究院生产的，赵院长一看便知。”
赵院长不置可否，他呛上这两句语气说是质疑，不如说是在表明立场。毕竟这个技术是有麻友公参与的，对自己亲手培养出来的弟子他还是有信心的。麻友公的学术道德如何，他心里清楚。即使生活再怎么艰难，但学术造假肯定不会落到他的头上。
赵院长四下找了一圈，很容易就发现了一台光学显微镜。这是一台高倍的显微镜，最大观测分辨率可以达到0.1微米水平。用来观测0.5微米线宽的集成电路，可以说是轻而易举。
他熟练的操作着实验仪器，很快就做好了准备工作。赵院长向显微镜里看过去，却不想竟然惊讶的喊了出来！
“啊！”赵院长竟然从实验台前倒退了半步，那样子就如同见到了鬼一般。
赵院长很快就意识到了自己的失态，却来得及没有对众人做出丝毫说明，便又急匆匆的一头扑向了显微镜。
足足过了十多分钟，他才从显微镜前抬起头来，喃喃自语道：“竟然是真的，竟然是真的……”
“赵老，什么真的、假的？你看到了什么？”赵院长身边，一个焦急的领导抓着他的衣服就问道。
“确实是0.5微米线宽！”赵院长有些苦涩，却又有些自豪的说道。
是的，他虽然输了打赌，但仍然足以自豪。因为这是中国人创造的奇迹，是他的得意弟子参与创造的奇迹。作为一个把一生已经奉献给共和国科学事业的老科学家，他虽输犹荣。
“那也不能说明什么吧，说不定是他们搞了鬼呢。赵老，一个月时间把光刻机技术提高一代，这种放卫星的说法你也信？肯定是有什么障眼法，您可得擦亮眼睛啊！”
“去！自己去看！”赵院长挺直了腰板，指向显微镜说道：“中国人，我们中国人一向是善于创造奇迹的民族啊！”
身边这人带着明显怀疑的神色，站在显微镜前看了一眼，顿时也“啊”的一声，倒退了一大步！
“怎么回事？怎么回事？”
众人心头一阵疑惑，赵院长一个人震惊也就算了，后面这人在有了心理准备的情况下，怎么还表现的这么不堪？
“真的！是真的！”这人看完之后，竟然也有些失魂落魄似的，念念有词。
“咋回事究竟？我也看看！”
“啊！”
“哎，快让我看看！”
“哎呀！真的！”
后面几乎每一个人，在看到显微镜下图案的时候，都不由自主的一付惊讶的表情。
周硕呵呵笑着制止了后面人的鼓噪，通过设备将显微镜观测到的图案，直接显示在了实验室的投影幕布上面。
只见这张晶圆上面蚀刻的图案，竟然就是今天一早赵院长从面包车上跳下来的画面！还有什么，比这个画面更有说服力的吗！RP